等離子廢氣處理設(shè)備內(nèi)部產(chǎn)生富含化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較量的活性基團發(fā)生反應(yīng)，終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣的目的。

　　等離子廢氣處理設(shè)備去除污染物的機理：

　　等離子廢氣處理設(shè)備化學(xué)反應(yīng)過程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：

　　(1)電場＋電子→電子

　　(2)電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

　　(3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

　　(4)活性基團＋活性基團→生成物+熱

　　從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。

　　低溫等離子廢氣凈化器去除污染物的原理：

　　在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿游镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。